干法蚀刻通常指利用辉光放电方式,产生等离子体来进行图案转移的蚀刻技术。其中等离子体含有()。

A、离子、电子

B、中性原子

C、分子

D、自由基

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    B、标记

    C、管理

    D、处理

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    B.电子束
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    D.超声加工
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    D、等离子体对蛋白质分解彻底

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