等离子增强反应沉积中，由于等离子体中（）、（）和（）相互碰撞，可以大大降低沉积温度，例如硅烷和氨气的反应在通常条件下，约在850℃左右反应并沉积氮化硅，但在等离子体增强反应的条件下，只需在350℃左右就可以生成氮化硅。
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等离子增强反应沉积中，由于等离子体中（）、（）和（）相互碰撞，可以大大降低沉积温度，例如硅烷和氨气的反应在通常条件下，约在850℃左右反应并沉积氮化硅，但在等离子体增强反应的条件下，只需在350℃左右就可以生成氮化硅。
（14分)氮化硅（Si3N4)是一种新型陶瓷材料，它可由石英与焦炭在高温的氮气流中，通过以下反应制得：
SiO2+ C+ N2
Si3N4+ CO
（1)配平上述反应的化学方程式（将化学计量数填在方框内)；
（2)该反应中的氧化剂是____\_，其还原产物是___________；
（3)该反应的平衡常数表达式为K=_______；
（4)若知上述反应为放热反应，则其反应热ΔH_____\__零（填“大于”“小于”或“等于”)；升高温度，其平衡常数值_______（填“增大”“减小”或“不变”)；
（5)若使压强增大，则上述平衡向_______反应方向移动（填“正”或“逆”)；
（6)若已知CO生成速率为v（CO)="18"mol·（L·min)－1,
则N2消耗速率为v（N2)=_______mol·（L·min)－1。
砂轮的磨料主要有（）。
A、刚玉类
B、硬质合金类
C、碳化硅类
D、超硬磨料类
E、氮化硅类
A炭化硅；
B铁屑；
C碳素；
D氮化硅
氮化硅有优良的化学稳定性，除了（）外，能耐所有的无机酸和一些碱液，熔融碱和盐的腐蚀。
A、王水
B、氢氟酸
C、浓硝酸
D、浓硫酸
