精密与超精密加工技术中纳米级表面粗造度为()。

A、表面粗糙度Ra≤0.03μm

B、表面粗糙度Ra≤0.05μm

C、表面粗糙度Ra﹤0.005μm

D、表面粗糙度Ra﹤0.003μm

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